硅粉也叫微硅粉，學(xué)名“硅灰”，又叫硅灰，是工業(yè)電爐在高溫熔煉工業(yè)硅及硅鐵的過程中，隨廢氣逸出的煙塵經(jīng)特殊的捕集裝置收集處理而成。硅粉專用閥硅粉裝置現(xiàn)在基本分有機(jī)硅裝置與多晶硅裝置，目前多晶硅裝置發(fā)展勢(shì)頭非常迅猛。

  該裝置硅粉硬度非常高，達(dá)HRC63-65，粒度較大達(dá)40-180目，沖刷非常嚴(yán)重；介質(zhì)具有回流現(xiàn)象，所以要求硅粉專用閥具有雙向密封性能；某些工段的介質(zhì)中含氯甲烷，此氯甲烷與空氣接觸易著火，工況非常惡劣。